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Le coût d'une machine de lithographie à faisceau d'ions focalisé (FIB) est extrêmement élevé, allant de plusieurs millions à des dizaines de millions de dollars américains . Le prix exact dépend de plusieurs facteurs, notamment :
* Fabricant : Différents fabricants (par exemple Zeiss, FEI/Thermo Fisher Scientific) ont des structures de prix différentes.
* Modèle spécifique : Les modèles haut de gamme dotés de capacités avancées (par exemple, une résolution plus élevée, un débit plus élevé, des fonctionnalités supplémentaires telles que des systèmes d'injection de gaz) sont nettement plus chers.
* Personnalisation : Toute modification ou ajout personnalisé demandé par l’acheteur augmentera le coût.
* Installation et maintenance : Ces coûts sont importants et doivent être pris en compte dans l’investissement total.
Il est donc impossible de donner un chiffre précis sans préciser la machine exacte et sa configuration. Il est raisonnable de supposer que l'achat et la maintenance d'un système FIB représentent un investissement en capital considérable pour tout institut de recherche ou entreprise.
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