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pulvérisation cathodique est un procédé de dépôt des matériaux très minces dans la gamme d'épaisseur de 5 à 1000 nanomètres. Le principe de pulvérisation est relativement simple et implique l'utilisation d' ions de gaz accéléré à bombarder un matériau cible . Placer un substrat convenable au-dessus du matériau de la cible permet d' atomes pulvérisés se condenser et former un film mince . Standard de pulvérisation cathodique est un procédé assez peu efficace car le plasma ( ions de gaz ) ne sont pas localisés à la matière cible . Pulvérisation magnétron permet de contourner ce problème en plaçant une série de détournement aimants derrière le matériau cible , confinant ainsi le plasma et l'amélioration de l'efficacité. Les choses dont vous aurez besoin
aimants permanents
pulvérisation système
Show More Instructions
1 mesurer le rayon de la cible de pulvérisation doit être utilisé. Le plasma doit être confiné à l'intérieur de ce rayon . Décider sur un rayon approprié.
2 calculer le champ magnétique nécessaire pour confiner le plasma de ce rayon. Pour ce faire, utiliser l'équation de rayon cyclotron :
champ magnétique = SQROOT (2 x K xm ) /( EXR )
Dans l'équation ci-dessus, SQROOT signifie tout carré de la racine à l'intérieur des parenthèses . K est l'énergie cinétique des ions , m est la masse des ions, e est la charge d'un électron , et r est le rayon mesuré à partir de l'étape 1.
3 Concevoir un série d'aimants qui produisent le champ magnétique calculé ci-dessus . Gardez à l'esprit que les aimants sont placés derrière le matériau cible. Par conséquent, le champ magnétique de l'aimant doit être celle calculée ci-dessus, à la surface du matériau cible.
4 Démonter le pistolet de pulvérisation et placez les aimants derrière le matériau cible. Notez que cela peut impliquer une refonte importante de l'arme.
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