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L'Association de l'industrie de semi-conducteurs ( SIA ), qui représente 90 pour cent des produits semi-conducteurs fabriqués aux États- Unis. L'industrie des semi-conducteurs multi- milliards de dollars vend des millions de minuscules puces informatiques , qui sont créés avec des électrodes de plasma. Types d' électrodes à plasma sont les suivantes: les électrodes d'ondes couplé par induction , micro-ondes ou par radio . Des électrodes de plasma à bas de puits de four , atteignent des températures supérieures à 6000 degrés centigrades. Électrodes de plasma se vaporisent métallique , qui recouvre le cuivre ou silicone formant des semi-conducteurs . Décharge électrique électrodes à plasma
électrodes à plasma libèrent courant électrique à travers une substance qui ne conduit pas l'électricité . Isole l'air. Elle ne conduit pas l'électricité , mais plusieurs milliers de volts champ électrique traversé air normalement isolant, crée d'autres ions gazeux d'azote , d'oxygène et . L'électrode de plasma provoque électrons chargés négativement pour détacher de l'azote ou des atomes d'oxygène et laisse les ions chargés positivement . Les ions et électrons ( plasma ) se déplacent séparément par la haute tension créant un courant électrique. Plasma conduit le courant électrique.
Vaccuum arc de plasma électrodes
arc sous vide des décharges électriques utilisent des revêtements de plasma dans la métallurgie et les films de plasma. Les arcs de vide sont des électrodes à haute tension appariés dans une chambre à vide . L'arc électrique transporte le plasma ionisé et ordonne à l'arc magnétique pour revêtir une surface de puce . L'arc peut être orienté avec un champ magnétique . Puces de revêtement avec un arc de plasma chargé est un processus appelé « dépôt à arc sous vide . " Métal liquide tombe pulvérisation de la surface des électrodes , qui nuisent à la qualité du revêtement de plasma mince. Les gouttelettes incompatibles sont retirées du faisceau de plasma en faisant obstacle à l'écoulement de l'arc de plasma entre l'électrode et la surface de semi-conducteur . Ce processus est appelé « dépôt à arc sous vide filtré. "
Corona et à décharge luminescente électrodes
de décharge électrique Corona est une décharge électrique partielle inhomogène . Décharge Corona électrique est créé par un champ électrique à haute tension à proximité d'une électrode pointue . Corona est une décharge à haute tension à courant faible . Des effluves sont plusieurs centaines de volts et un ampère de courant. Le courant ionique faible est amplifiée en collision avec d'autres particules . L'amplification crée des électrons secondaires . Les décharges électriques sont également créés par micro-ondes ou ondes laser avec ou sans électrodes.
Capacitive couplée à un plasma (PCC) électrodes
Un plasma à couplage capacitif (CCP ) électrode est en fait deux électrodes à écran plasma avec peu de distance entre eux à l'intérieur d'un réacteur . La pression des gaz à l'intérieur du réacteur peut être plus faible que la pression de l'atmosphère . Une électrode PCC dirige des ondes radio , le plus souvent à 13,56 MHz . Une électrode à plasma est fixée à la puissance électrique , et l'autre est l'électrode de masse . Les électrodes CCP sont fixés en parallèle , et le plasma ainsi formé est couplée de façon capacitive à plasma . Plasma à couplage capacitif donne parfois la lumière tout en générant le plasma avec un condensateur. Les électrons bombardant une électrode deviennent rapidement chargées négativement , et ils créent courant en plus du courant alternatif plasma secondaire. Une électrode en courant continu excite les électrons et les ions de charges . Cette microprocessus dépose un film mince de plasma sur une électrode . Semi-conducteurs de CCP peuvent être gravées .
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